技術名稱 現場鏡面量測儀 - 奈米微測 即時校正
計畫單位 國家同步輻射研究中心
計畫主持人 林上為
技術簡介 臨場大型X光鏡面量測技術中的長程鏡面量測儀(LTP)在全世界的許多同步加速器研究中心使用,可以用於測量X光鏡的面形和中頻粗糙度。測量過程精確、高速、非接觸,測量曲率半徑範圍可以從5 m至∞,能夠測量範圍內的表面輪廓面貌,縱向解析度為0.15 nm,未來可用於測量鏡面製作和安裝成果。
科學突破性 在台灣光子源TPS 41A1主動式分光儀和主動式光譜儀上進行臨場大型X光鏡面量測,觀察主動式光柵在受熱後凸起10 nm的微小變化,而此變化降低了光束線的能量解析力。利用量測數據在光束線上即時修正此光柵鏡面受熱後的斜率誤差,在不損失光通量的情況下,使得光子能量510 eV能有25,000的能量解析能力
產業應用性 整合國輻中心光學量測和設計能力與國內廠商製造力,發展國內廠商技術應用並在國內設計研發和製作各式客製化和高價值X光光學產品,如在開發大型天文X光望遠鏡時,可以用於測量鏡面製作和安裝成果,也可整合其它大型光學元件製程真空系統,例如光學鏡面拋光和鍍膜,即時監控和回饋製程結果並予以修正,提高製程的精度和效率
技術影片
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  • 李宛萍
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