技術名稱 可監控無人載具行為之無鉛壓電加速度感測系統
計畫單位 成功大學
計畫主持人 朱聖緣/張順志/邱瀝毅
技術簡介 本團隊自行研發無鉛壓電材料,並結合MEMS製程技術,成功開發無鉛壓電MEMS加速規,該元件藉由震動使壓電薄膜產生形變,進而產生電荷,再由電荷輸出量推算加速度。後端電路SAR ADC之輸入訊號為電壓,因此必須將電荷轉換成電壓訊號,再送進逐漸趨近式的類比至數位轉換器轉換成數位碼。
科學突破性 本團隊在壓電材料合成、壓電加速規與後端感測電與SAR ADC製作技術於國內居領先地位。在國內能同時具備此三種能力的研究團隊非常稀少,在國內研究中實屬不易。此外,本團隊透過材料摻雜技術,成功研發出高壓電特性之無鉛壓電材料,該壓電特性領先世界同材料之研究。可針對無人載具與智慧機械之應用情境,調配出適合的
產業應用性 微機電感測器具有性能均一、成本便宜、可批次生產等特點,不僅適合普及應用在數量龐大的消費性電子產業,未來也必然將成為物聯網感測應用市場上的營收亮點。MEMS感測器目前是市場規模最大者,仍是慣性感測器,其應用極為廣泛,例如工業4.0、物聯網底層感測元件、車聯網與人體感測等應用。
技術影片
  • 聯絡人
  • 李承穎/翁睿佟
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